全自動晶圓取/放置焊接盤設備 (MT-DPPB-16)

 

設備特色

Wafer ==> Inspection ==> Die置入焊接盤內 ==> 自動收料

設備外型尺寸

LxWxH1860mm x 1200mm x 1930mm

適用材料尺寸

Die40~120mil

供料Wafer平台

6 inch  DTF 2-6-1

Wafer自動角度修正

θ: +/- 3°

XY滑台自動修正精度

+/-30um

影像辨識系統

Wafer/Tray取料-視覺系統 (500萬畫素)

Tray-視覺系統 (500萬畫素)

-視覺系統 (500萬畫素)

運轉速度(UPH)

≧20K/Hr (視材料大小而定)

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